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派克接頭:內(nèi)置金屬墊片的派克超純凈面密封接頭(尺寸最大為1英寸)–VacuSeal?

VacuSeal?是內(nèi)置金屬墊圈的端面密封接頭,提供優(yōu)異的完整性,有效減少泄漏.其適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用場合,如半導(dǎo)體行業(yè)的管路配置、閥門閥組集成柜(VMBS)和氣體氣路分配系統(tǒng).

派克接頭:內(nèi)置金屬墊片的派克超純凈面密封接頭(尺寸最大為1英寸)–VacuSeal?

VacuSeal?是一種內(nèi)置金屬墊圈的端面密封接頭,該接頭可以提供極高的完整性,防止泄漏的有效性能,使得它們適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用場合,例如半導(dǎo)體行業(yè)的管路配置、閥門閥組集成柜(VMBS)和氣體氣路分配系統(tǒng)。VacuSeal?接頭的特點(diǎn)是需要配合配套的金屬密封圈和高光潔度的環(huán)面設(shè)計(jì),創(chuàng)造了金屬對(duì)金屬的密封形式,提供無泄漏服務(wù),從真空到9000psi壓力范圍可用。


VacuSeal?接頭的尺寸范圍從1/8英寸到1英寸可選,并可選擇各種接頭本體和接頭壓蓋配置。它們是由Veriflo工廠生產(chǎn)的低硫含量的Vericlean?材料加工而成,Vericlean?是Veriflo工廠注冊(cè)的專利商標(biāo),它是316L不銹鋼在100級(jí)潔凈室中制造而得的特殊材料。標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)光潔度是5 RA,其通過材料表面濕法電拋光減少表面顆粒度的同時(shí)提供優(yōu)異的耐腐蝕性能。接頭壓蓋可選用高純度鎳材質(zhì)和Hastelloy C-22®哈氏合金材質(zhì),以確保在極其
腐蝕性應(yīng)用中的性能和可靠性。

VacuSeal?接頭設(shè)計(jì)了安裝面為平面,接頭壓蓋與 Verfilo的TorqTite?自動(dòng)調(diào)心面密封墊圈平面安裝密封,該連接方式不需要安裝工具,并消除了由于熱循環(huán)和振動(dòng)造成的部件松動(dòng)。TorqTite?也保證了密封性能,甚至在損壞的安裝環(huán)面上也能有效密封。并且在應(yīng)用中使用允許最高扭矩,而不會(huì)損壞密封表面。這是VacuSeal?接頭螺母,是用超高純度制造材料制造而成,與接頭壓蓋配合連接,最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生,并確保了在清潔生產(chǎn)至關(guān)重要的晶圓制造操作中的防止泄漏完整性。

所有的真空管接件都是要求通過氦氣泄漏測(cè)試,以確保在要求的超潔凈應(yīng)用時(shí)的性能和可靠性。

市場:
? 半導(dǎo)體生產(chǎn)線
? 設(shè)備實(shí)驗(yàn)室
? 分析實(shí)驗(yàn)室
? 藥物試驗(yàn)室
? 生物危害試驗(yàn)
? 航空航天應(yīng)用
? 工業(yè)生產(chǎn)

應(yīng)用:
? 腐蝕性和特殊性氣體
? 半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣體分配系統(tǒng)
? 半導(dǎo)體設(shè)備
? 半導(dǎo)體設(shè)備二次配管
? 集成氣柜
? 閥門閥組集成柜(VMB)

特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì):
? 接頭上帶有兩個(gè)泄漏測(cè)試口便于泄漏測(cè)試
? 泄漏率:小于1×10-9 STD SCC/SEC He
? 5 Ra內(nèi)部電拋光表面光潔度
? 內(nèi)螺紋帶有鍍銀工藝,具有增強(qiáng)的電鍍工藝,用于清潔、電解拋光和鈍化的侵蝕性化學(xué)工藝。
? 不旋轉(zhuǎn)的螺母安裝防止了在安裝過程中扭矩的傳遞,從而最小化了部件的扭轉(zhuǎn)而引起的應(yīng)力集中。
? 防螺紋咬死的螺母工藝,確保無電鍍或潤滑工藝的連接低扭矩,順暢一致。
? 專利的TorqTite?墊圈最初接觸內(nèi)錐度,徑向迫使任何夾雜污染物排出連接件。
? 接頭壓蓋上的熱追蹤代碼提供原材料的可追溯性
? 安裝無軸向間隙,而導(dǎo)致接頭連接系統(tǒng)側(cè)向移除部件
? 平滑過渡到內(nèi)徑,最小化內(nèi)陷區(qū)域

Hastelloy C-22是 Haynes國際公司的注冊(cè)商標(biāo)。

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